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關(guān)鍵詞:化學(xué)氣相沉積爐CVD系統CVI沉積爐
臥式化學(xué)氣相沉積爐(沉積炭)
臥式化學(xué)氣相沉積爐(沉積炭)
產(chǎn)品描述:
臥式化學(xué)氣相沉積爐(沉積炭)主要用于以碳氫氣體(天然氣、丙烷、丙烯)為碳源的預制體氣相滲透增密處理
應用范圍:
炭/炭剎車(chē)盤(pán)、炭炭板材、晶體爐坩堝、熱壓模具、高溫發(fā)熱體/緊固件、熱場(chǎng)材料等

臥式化學(xué)氣相沉積爐(沉積炭)技術(shù)特征

電阻爐可采用多溫區獨立控溫,溫度均勻性好;

采用智能壓力調控,壓力波動(dòng)??;

全封閉沉積室,密封效果好,抗污染能力強;

多通道工藝氣路,流程均勻,無(wú)沉積死角,沉積效果好;

多級高效尾氣處理系統,環(huán)境友好,能高效收集焦油及副產(chǎn)物,易清理;

可選配外循環(huán)快冷系統,降溫時(shí)間短,生產(chǎn)效率高;

臥式化學(xué)氣相沉積爐(沉積炭)產(chǎn)品規格

參數\型號HCVD-060609-CHCVD-101015-CHCVD-121220-CHCVD-151530-CHCVD-152023-CHCVD-252035-C
工作區尺寸
W×H×L(mm)
600×600×9001000×1000×15001200×1200×20001500×1500×30001500×2000×23002500×2000×3500
最高溫度(℃)150015001500150015001500
溫度均勻性(℃)±5±7.5±10±10±10±10
極限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-1001-100
壓升率(Pa/h)0.670.670.670.670.670.67
加熱方式電阻電阻電阻電阻電阻電阻
以上參數可根據工藝要求進(jìn)行調整,不作為驗收依據,具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準。

臥式化學(xué)氣相沉積爐(沉積炭)配置選擇

結構形式:臥式-單開(kāi)門(mén)/雙開(kāi)門(mén);立式-上出料/下出料

爐門(mén)鎖緊方式:手動(dòng)/自動(dòng)

爐殼材質(zhì):全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼

保溫材質(zhì):碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈/陶瓷纖維氈

加熱器、馬弗:石墨/CFC/金屬

熱電偶:K/N/C/S分度號

電源:KGPS/IGBT(僅適用于中頻加熱)

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